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Wafer-level micropackaging in thin film technology for RF MEMS applications
Publication date: 23 Ott 2017
Journal
Source: OPENALEX
OpenAlex type: article
Closed Access
Authors:
Anna Persano
,
Pietro Aleardo Siciliano
,
Fabio Quaranta
,
Antonietta Taurino
, Andrea Lucibello, R. Marcelli,
Giovanni Capoccia
,
Emanuela Proietti
, Alvise Bagolini, Jacopo Iannacci
Origin
Microsystem Technologies
Volume
24
Issue
1
Pages
575-585
Cited by
12
Legacy ID
de041d22e6b361b8f59e147e549558ff
Biblio references
Volume: 24 Issue: 1 Pages: 575-585
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