Settore di ricerca

I dispositivi MEMS e MOEMS sono microsistemi progettati per applicazioni basate su principi meccanici, termici, elettromagnetici e ottici.

Le principali attività comprendono:

• MEMS per microonde e onde millimetriche, tra cui interruttori, risonatori e micro e nano-antenne;
• integrazione di materiali funzionali per trasduzione piezoelettrica, termoelettrica e chimica;
• MOEMS in SiC per il monitoraggio della pressione in condizioni operative severe;
• sonde in fibra ottica per diagnostica medica minimamente invasiva;
• MEMS per la raccolta di microenergia da fonti di calore;
• sensori fisici miniaturizzati per deformazione, pressione, vibrazioni e applicazioni inerziali;
• MEMS e NEMS basati su materiali bidimensionali.

L’IMM sviluppa materiali organici, inorganici e ibridi per sensori basati su tecniche di trasduzione elettrica, ottica, elettromagnetica e chimica. Le attività riguardano dispositivi miniaturizzati, sistemi portatili e piattaforme multisensoriali per applicazioni ambientali, biomedicali, industriali e agroalimentari.

Le principali linee comprendono:

• sensori basati su grafene, metalli, ossidi metallici e materiali nanostrutturati;
• sensori elettrici ed elettromagnetici basati su nanomateriali carboniosi e materiali porosi;
• sensori ottici, plasmonici e in fibra, anche per il monitoraggio continuo di processi biologici;
• dispositivi indossabili, portatili e microfluidici per parametri chimici, fisici e biologici;
• rivelatori a semiconduttore, sensori per radiazioni e sistemi ad alta sensibilità;
• sensori MEMS e piattaforme integrate per gas, pressione e altre grandezze fisiche.

Le attività comprendono inoltre modellazione, biofunzionalizzazione delle superfici e sviluppo di prototipi orientati al trasferimento tecnologico.

Le attività riguardano lo sviluppo di materiali nanostrutturati funzionali con proprietà elettriche, ottiche, magnetiche e chimiche.

L’IMM studia diverse classi di nanomateriali, tra cui nanofili, nanoparticelle, nanotubi, materiali bidimensionali e film nanometrici. La sintesi è sviluppata attraverso tecniche fisiche, chimiche ed elettrochimiche, insieme a strumenti e dispositivi di caratterizzazione per l’analisi delle proprietà dei materiali su scala nanometrica.

Particolare attenzione è dedicata al controllo delle proprietà dei nanomateriali attraverso i parametri di processo. Le applicazioni riguardano microelettronica, sensoristica, energia, optoelettronica e trattamento delle acque.