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Ion implantation and activation of aluminum in bulk 3C-SiC and 3C-SiC on Si
Publication date: 15 Dic 2022
Journal
Source: OPENALEX
OpenAlex type: article
Closed Access
Authors:
Marica Canino
,
Fabrizio Tamarri
, Frank Torregrosa, Mariaconcetta Canino, F. Li, F. Tamarri, B. Roux, S. Morata,
Francesco La Via
, Marcin Zieliński,
Roberta Nipoti
Origin
MRS Advances
Volume
7
Issue
36
Pages
1347-1352
Cited by
5
Legacy ID
bb9e042678b729dcb11e05c4a6666398
Biblio references
Pages: 1-6
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