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Isolation of bidimensional electron gas in AlGaN/GaN heterojunction using Ar ion implantation

Publication date: 1 Dic 2023

JournalSource: LEGACY
Authors: Elena Bruno, Giorgia Franzò, Giuseppe Greco, Fabrizio Roccaforte
Publisher
Pergamon
Origin
Materials Science in Semiconductor Processing
Legacy ID
c2923e63cd0e8c4b2d132cb969bcffab
Biblio references
Volume: 168 Pages: 107871
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