PUBBLICAZIONI – CNR IMM

JournalSource: OPENALEXOpenAlex type: articleClosed Access

Authors: Bruno Galizia, Patrick Fiorenza, Emanuela Schilirò, B. Pécz, Zsolt Foragassy, Giuseppe Greco, Mario Saggio, Salvatore Cascino, Raffaella Lo Nigro, Fabrizio Roccaforte

Origin

Materials Science in Semiconductor Processing

Volume

174

Pages

108244

Cited by

10

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