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1950°C Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Sheet Resistance Dependence on the Annealing Time

Publication date: 24 Giu 2016

JournalSource: LEGACY
Authors: Roberta Nipoti, Emanuele Centurioni, Ivan Elmi
Publisher
Trans Tech Publications Ltd
Origin
Materials Science Forum
Legacy ID
2797203ca11c94dafea0d7c8a5442d7c
Biblio references
Volume: 858 Pages: 523-526
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