Sintesi e micro-nanofabbricazione

Sintesi e micro-nanofabbricazione

Le attività di sintesi e micro/nanofabbricazione dell’IMM comprendono competenze, processi e strumentazioni per lo sviluppo di materiali, strutture e dispositivi su scala micro e nanometrica. Le attività svolte nelle diverse sedi riguardano la sintesi e la deposizione dei materiali, la litografia, la strutturazione, l’incisione, il drogaggio e le successive fasi di integrazione e packaging dei dispositivi.

Le competenze di sintesi e micro/nanofabbricazione supportano lo sviluppo di materiali, processi e dispositivi nei seguenti settori:

  • micro e nanoelettronica;
  • fotonica e optoelettronica;
  • MEMS, MOEMS e microsistemi;
  • sensoristica e dispositivi funzionali.

Le attività comprendono:

  • litografia ottica, laser e tecniche di nanolitografia;
  • deposizione di materiali mediante processi CVD, PVD, ALD, sputtering ed elettrodeposizione;
  • incisione a secco e a umido di semiconduttori, metalli e materiali dielettrici;
  • processi di micro e nanostrutturazione;
  • impiantazione ionica, drogaggio e trattamenti termici;
  • progettazione di layout e maschere;
  • integrazione, packaging, dicing e wire bonding;
  • metrologia e controllo dei processi.

Ricerca, prototipazione e trasferimento tecnologico

Oltre alla ricerca scientifica, l’area ha una forte vocazione applicativa. Le infrastrutture e le competenze della rete MNF permettono di supportare attività di prototipazione e piccola produzione, favorendo il trasferimento tecnologico verso imprese, centri di ricerca e partner industriali, a livello nazionale e internazionale.

La rete è inoltre parte dell’infrastruttura nazionale It-Fab, contribuendo al coordinamento delle principali facility italiane nel campo della nanofabbricazione e rafforzando il ruolo dell’IMM come nodo strategico nell’ecosistema della ricerca e dell’innovazione.